반도체 생산라인 Fab 구조 2 (Csf편)

스케치로 ai 일러스트 적용하니 완성된 팹맨 ㅋㅋㅋㅋ 왠 우주인이 나왔어 ㅋㅋㅋㅋㅋ

방진모가 구현이 안되네..




여튼 지난편에 이어 반도체 팹 구조 2탄이다
이번엔 CSF에 대해 설명하겠다

보시다 싶이 CSF 에는 본격적으로 1차 배관들이 깔려 있는데 각종 유틸리티들이 공급되는 층이라고 할수 있다 그렇기 때문에 1차 배관 뿐만아니라 공급장치 제어장치 등 반도체가 만들어지기 위해 필요한 인프라가 CSF에 구축 되어있다

각종 설비에 필요한 가스류 물라인 에어류 배기 덕트 등은 모듈렉이라고 하는 구조물에 매달려 있는데 이것을 설명하기 위해서는 라인의 구조에 대해 좀 알아야 한다

라인 내 평면도 예시 실제와는 차이가 있다

그림은 쉽게 설명하기 위해 내맘대로 그리긴 했는데 라인별로 상이함으로 참고만 하길 바란다 그림과 같이 Fab은 동서로 갈라 동팹 서팹이 방화벽으로 나누어져 있고 양쪽으로 남북 서포트 팹이 있다

생산라인은 긴 복도를 따라 수많은 베이(Bay)가 나뉘어 있는 구조로 양 끝 복도 중간중간 외부로 연결되는 반입구가 있어 라인내 필요한 것들을 반입 반출 할수 있다

베이에 대해 설명하려고 그림도 그리고(개오래걸림) 말이 길어졌는데 양쪽 큰 복도를 따라 1차 메인 서포트에 1차 배관들이 설치되어 있고 1차 배관에서 배관을 가지치듯 따와서 베이별로 유틸을 공급한다 설비에 필요한 유틸은 베이별로 모두 구축되어 있다는 말이다 바로 위에서 설명했던 모듈렉에 말이다

즉 정리하자면 복도를 따라 1차 메인 배관이 깔려 있고 각 베이별로 유틸을 공급해 주는데 베이별로 모듈렉을 설치하고 그 위에 각종 가스류 에어류 배기 덕트 물라인 케미컬 등등 메인 설비에 필요한 유틸리티 배관이 구축되어 메인설비에 필요한 유틸을 공급 받는다고 할수 있다(무호흡 설명이냐고)

이는 CSF 뿐만아니라 FSF 도 동일하다




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여기까지 쓰는데만 3일이 걸렸기에.. FSF은 3탄에서 계속 된다...